特許

J-GLOBAL ID：200903079759037686

表面弾性波アクチュエータ及びその製造方法

発明者： 篠浦 治 ,  佐藤 勝男 ,  高山 勝
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222207
公開番号（公開出願番号）：特開平9-322573
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 移動の効率や安定性が良く、耐久性に優れた構造の簡単な表面弾性波アクチュエータ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 表面弾性波の発生部及び伝搬部を具備する固定子と、前記表面弾性波を駆動源として移動する移動子とを有するアクチュエータに於いて、上記固定子の表面弾性波伝搬部が、表面弾性波の伝搬方向とほぼ直角な方向に、凸状に湾曲していることを特徴とする表面弾性波アクチュエータ、及び固定子の裏面に溝部を形成することにより、固定子を凸状に湾曲させることを特徴とする表面弾性波アクチュエータの製造方法。

請求項（抜粋）：

表面弾性波の発生部及び伝搬部を具備する固定子と、前記表面弾性波を駆動源として移動する移動子とを有するアクチュエータに於いて、上記固定子の表面弾性波伝搬部が、表面弾性波の伝搬方向とほぼ直角な方向に、凸状に湾曲していることを特徴とする表面弾性波アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 弾性表面波リニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-022421   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー
• 圧電アクチュエータと圧電アクチュエータによる軟 質薄物移送装置と圧電アクチュエータによる軟質薄 物移送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-146923   出願人：株式会社セラテック
• 硬質物質被覆ウエハ-及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-165914   出願人：住友電気工業株式会社
• 特開昭54-164202