硬質物質被覆ウエハ-及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川瀬茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165914
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017693
出願日： 1994年06月24日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】従来、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、c-BNのようにバルクの結晶を作りにくい材料に関して広い面積の基板が存在しなかった。これら硬質物質の大面積ウエハを提供することが本発明の目的である。【構成】広い面積を有する既存のウエハの上に、硬質物質膜を膜側が凸になるように気相成長させる。膜側が凸である複合材料をホルダ-面が傾き得るようにした研磨装置によって研磨し、薄膜の全面を研磨する。これにより反りのある平滑な硬質物質の大面積のミラ-ウエハを得ることができる。

請求項（抜粋）：

わずかな反りのある基板と、気相合成法により基板の少なくとも1面に被覆されたビッカ-ス硬度Hvが3000以上の硬質物質よりなる被膜とよりなり、板厚が0.1mm〜2.1mmであり、外径が1インチΦ以上であって、硬質物質被膜の面粗度が、Rmax500Å(50nm)以下であり、Raが200Å(20nm)以下である部分が50%以上存在し、かつ、基板が硬質物質被膜の側に凸に反っており、周辺部の中央部に対する高さΔHが、-150μm≦ΔH≦-2μmであるようにしたことを特徴とする硬質物質被覆ウエハ-。

IPC (4件)：

H01L 21/02 , B24B 1/00 , C30B 25/16 , H01L 21/304 321

引用特許：

出願人引用 (12件)

特開昭62-211925
特開昭54-011693
特開昭54-012587

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