特許

J-GLOBAL ID：200903079802078006

処理装置

発明者： 浅野 貴庸 ,  大蔵 領一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-339529
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161797
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 SMIFポットのようなカセット収容容器を設置可能とすることにより作業室間用クリーンルームのクリーン度を低く設定することができる処理装置を提供する。【構成】 被処理体Wに処理を施す処理室1と、これに連結されて被処理体を収容した保持体7を挿脱するロードロック室10と、このロードロック室に対して、カセットC内に収容されている被処理体を搬出入する搬出入室30とを備えた処理装置において、上記搬出入室に、内部が清浄空気や不活性ガスにより充填されて密閉可能になされたカセット収容容器53を設置するカセット収容容器用ポート51を設ける。これにより、外部との間でカセットを搬出入する時にこれを作業領域の雰囲気に晒されなくて済むので、この領域の雰囲気のクリーン度を高く維持する必要がなく、クリーンルームの建設コストを削減することができる。

請求項（抜粋）：

被処理体に所定の処理を施す処理室と、この処理室に対して前記被処理体を収容した保持体を挿脱する移送機構を有するロードロック室と、このロードロック室に対して、カセット内に収容されている被処理体を搬出入する搬出入室とを具備する処理装置において、前記搬出入室は、外部との間で前記カセットを搬出入するために、内部が清浄空気或いは不活性ガスにより充填されて密閉可能になされた搬送可能なカセット収容容器を設置するためのカセット収容容器用ポートを備えたことを特徴とする処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-059524   出願人：東京エレクトロン東北株式会社, 株式会社安川電機
• クリーンルーム用密閉式コンテナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-084411   出願人：神鋼電機株式会社
• 特開昭62-222625
  
• 特開平2-020040