特許
J-GLOBAL ID：200903079815013191
音叉形振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および音叉形振動子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-334328
公開番号（公開出願番号）：特開2004-061486
出願日： 2002年11月18日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：
【課題】脚部間のバランスの取れた音叉形振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および音叉形振動子の製造方法を提供する。【解決手段】音叉形振動子10は、一方主面および他方主面を有する長尺板状の振動部13と、振動部13の他方主面の長手方向一端側に設けられた基台部14と、振動部13を長手方向に沿って幅方向左右対称に音叉を構成する2つの脚部16、17に分割するスリット15を備える。スリット15は基台部14の振動部13側の一部を含んで形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一方主面および他方主面を有する長尺板状の振動部と、該振動部の他方主面の長手方向一端側に設けられた基台部と、前記振動部を長手方向に沿って幅方向左右対称に2つ以上の脚部に分割するスリットを備え、該スリットは前記基台部の前記振動部側の一部を含んで形成されていることを特徴とする音叉形振動子。
IPC (4件)：
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08
, H01L41/22
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08 Z
, H01L41/22 Z
2F105AA08
, 2F105BB11
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
