特許
J-GLOBAL ID：200903079867853228
位置認識マーク及びTABテープ及び半導体装置及びプリント基板
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-027989
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223722
出願日： 1996年02月15日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】接続部のずれが少なく歩留まりが良い半導体装置及びプリント基板及びそのための位置認識マーク及びTABテープを提供することを目的としている。【解決手段】互いに直交するx軸及びy軸を仮定し、輪郭を直線近似した場合の各直線であるベクトルのx成分の絶対値の合計Xaに対するx成分の合計Xbの割合Xb/Xa、及び、前記ベクトルのy成分の絶対値の合計Yaに対するy成分の合計Ybの割合Yb/Yaが共に0.5以下となるパターン9,11を有する位置認識マーク6 を備えている。デバイスホール7 を有し樹脂によって形成されたテープと、前記テープ上に形成され、デバイスホール7 に配置される半導体チップ3 上の複数のバンプ4 に対応して接続される複数のインナーリード2 とを有するTABテープ1 を備えている。また、前記デバイスホール7 に配置された半導体チップ3 と、前記半導体チップ3 上の複数のバンプ4 とを備えている半導体装置。
請求項（抜粋）：
互いに直交するx軸及びy軸を仮定し、輪郭を直線近似した場合の各直線であるベクトルのx成分の絶対値の合計Xaに対するx成分の合計Xbの割合、及び前記ベクトルのy成分の絶対値の合計Yaに対するy成分の合計Ybの割合の少なくとも一方が0.5以下となるパターンを有し、二つの前記パターンの画像を記憶すると共に二つの前記画像の2次元の相互相関関数を計算する位置認識装置によって前記二つの位置の前記パターンの相対位置を算出して位置ずれが検出されることを特徴とする位置認識マーク。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/68
H01L 21/60 311 W
, H01L 21/68 F
