特許
J-GLOBAL ID:200903079897135540

熱物性評価装置,熱物性評価用測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 本庄 武男 ,  今村 文典
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-089738
公開番号(公開出願番号):特開2009-075063
出願日: 2008年03月31日
公開日(公表日): 2009年04月09日
要約:
【課題】熱物性評価の測定において,試料のうら面が光を透過させない状態であっても,その試料の微小な測定部位(おもて面)について,加熱光の照射による温度変化を高精度で測定することができること。【解決手段】所定周期で断続するパルス光からなる基幹光B0を加熱光B1と検出光B2とに分岐させ,加熱光B1を第1の周波数F1で強度変調し,検出光B2を第1の周波数F1とは異なる第2の周波数F2で強度変調し,光路長調節機構8により加熱光B1と検出光B2との間で測定部位20aにおけるパルス光到達の時間差Δtpを生じさせ,測定部位20aに反射させた検出光B2’を光検出器14により受光してその受光強度を検出し,その検出信号における周波数(F1+F2)又は|F1-F2|の周波数成分を検波器15により検出する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
被測定物の測定部位に加熱光を照射し,該測定部位に反射させた検出光を受光してその受光強度を検出することにより,前記測定部位の温度変化を表わす測定値を得る熱物性評価装置であって, 所定周期で断続するパルス光からなる基幹光を前記加熱光と前記検出光とに分岐させる基幹光分岐手段と, 前記加熱光及び前記検出光それぞれを前記測定部位まで導く導光手段と, 前記加熱光を前記測定部位に至るまでに第1の周波数で強度変調する加熱光変調手段と, 前記検出光を前記測定部位に至るまでに前記第1の周波数とは異なる第2の周波数で強度変調する検出光変調手段と, 前記加熱光と前記検出光との間で前記測定部位におけるパルス光到達の時間差を生じさせるパルス光到達時間差設定手段と, 前記測定部位に反射させた前記検出光を受光してその受光強度を検出する光強度検出手段と, 前記光強度検出手段による検出信号若しくは該検出信号に基づく信号における前記第1の周波数と前記第2の周波数との和若しくは差の周波数成分を検出する検波手段と, を具備してなることを特徴とする熱物性評価装置。
IPC (1件):
G01N 25/18
FI (1件):
G01N25/18 H
Fターム (7件):
2G040AB09 ,  2G040CA01 ,  2G040CA23 ,  2G040DA05 ,  2G040DA12 ,  2G040EA06 ,  2G040EC02
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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