特許
J-GLOBAL ID：200903079924889048
光STM装置用探針及び光STM装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266656
公開番号（公開出願番号）：特開平8-129016
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】光ファイバを中核とする光STM装置用探針を、探針ホルダに容易に、かつ、確実に固定することができ、光STM動作中、安定な機械的、電気的特性が得られる光STM装置用探針、及びこれを用いた光STM装置を実現する。【構成】先端よりトンネル電流を試料に注入し、試料からの発光を集光して検出する光STM装置用探針において、先端部4が円錐形に研磨された光ファイバ1の側面に、金属メッキによって導電性厚膜6を固着させ、該厚膜6の厚さを、外部からの応力を膜内で吸収し、芯部の光ファイバ1には損傷を与えることのない厚さにし、かつ、上記光ファイバの円錐部4表面に被覆した透明導電性薄膜5とも電気的に接続させる。
請求項（抜粋）：
光ファイバの先端部を円錐形状に研磨し、その表面を透明な導電性薄膜で被覆し、該円錐部の先端から試料にトンネル電子を注入し、該トンネル電子の注入により試料中に生じた発光を上記光ファイバの円錐部により集光して検出する光STM装置用探針において、上記光ファイバの側面に剛性を有する導電性の厚膜を固着させ、かつ、該厚膜を上記円錐部表面の上記透明導電性薄膜とも電気的に接続させたことを特徴とする光STM装置用探針。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G02B 6/10
