特許

J-GLOBAL ID：200903080042423350

粘着シート

発明者： 高村 洋範
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
代理人 (1件)： 江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026410
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235583
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】 ペレットマウント用接着剤の塗布工数及び装置を不要に出来るペレット貼着用粘着シートを提供する。【構成】 可撓性シート基材11上に、紫外線硬化型第1粘着層12a及び紫外線非硬化型第2粘着層12bをそれぞれ下層及び上層とする2層構造の粘着層を被着形成する。

請求項（抜粋）：

可撓性シート基材上に、紫外線硬化型の第1粘着剤と紫外線非硬化型の第2粘着剤とを順次積層させて2層構造の粘着層を形成したことを特徴とする粘着シート。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  C09J 7/02 JKL ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/301 ,  B65H 37/04

FI (2件)：

H01L 21/78 P ,  H01L 21/78 M

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-248064
  
• 特開平4-188847
  
• ウェハ貼着用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-184704   出願人：リンテック株式会社
• 特開平2-248064
  
• 特開平4-188847