クリーンルームの局所空調システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-188484
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018663
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月18日
要約：

【要約】【課題】クリーンルームにおける生産ラインのレイアウト変更を、短工期,低コストで柔軟に対応できるよう改良した局所空調システムを提供する。【解決手段】システム天井2とフリーアクセスフロア3との間に構築したクリーンルーム4に対し、天井裏のサプライプレナム6,フリーアクセスフロア床下のリターンプレナム7,およびクリーンルームを迂回するリターンシャフト5を経由してステム天井に配置したファンフィルタユニット8から清浄空気をダウンフローするようにし、かつクリーンルームにレイアウトした高清浄度,高精度温度制御を必要とする恒温ゾーン12に対し、そのファンフィルタユニットに温度制御用の冷却コイルユニット13を組合せた局所空調システムにおいて、冷却コイルユニットをファンフィルタユニットと切り離してシステム天井裏に分散して配置するとともに、冷却コイルユニットとその近傍に位置する恒温ゾーンのファンフィルタユニットとの間をフレシキブルダクト17で接続する。

請求項（抜粋）：

建屋内の天井側に敷設したシステム天井と床側に敷設したフリーアクセスフロアとの間の中層空間にクリーンルームを構築し、システム天井の天井裏空間をサプライプレナム,フリーアクセスフロアの床下空間をリターンプレナム,およびクリーンルームの側方を迂回してリターンプレナムとサプライプレナムの間を連通する空間をリターンシャフトとし、システム天井に配置したファンフィルタユニットを通じてクリーンルームにクリーンエアをダウンフローするようにしたクリーンルームを対象とする局所空調システムであり、クリーンルームの室内にレイアウトした高い空気清浄度,高精度の温度制御を必要とする恒温ゾーンに対応するファンフィルタユニットに冷却コイルユニットを組合せ、サプライプレナムから冷却コイルユニットに取り込んだリターンエアを所要温度に空調した上で、前記ファンフィルタユニットに給気するようにしたものにおいて、前記冷却コイルユニットをファンフィルタユニットと切り離して天井裏のサプライプレナムに分散配備するとともに、冷却コイルユニットとその近傍に位置する恒温ゾーンのファンフィルタユニットとの間を連通して両者間にフレシキブルダクトを配管したことを特徴とするクリーンルームの局所空調システム。

IPC (2件)：

F24F 7/06 , F24F 13/30

FI (2件)：

F24F 7/06 C , F24F 1/00 391 A

Fターム (13件)：

3L051BE04 , 3L051BE05 , 3L051BF02 , 3L058BD01 , 3L058BD05 , 3L058BE02 , 3L058BF01 , 3L058BF03 , 3L058BF06 , 3L058BF07 , 3L058BG02 , 3L058BG03 , 3L058BG04

引用特許：

審査官引用 (2件)

クリーンルーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-053993 出願人：三機工業株式会社
クリーンルーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-249529 出願人：三菱電機株式会社

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