基板姿勢変更装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-039742
公開番号（公開出願番号）：特開平9-226916
出願日： 1996年02月27日
公開日（公表日）： 1997年09月02日
要約：

【要約】【課題】基板の姿勢変更のタクトの短縮を図る。【解決手段】処理装置本体10内で基板Bを傾斜姿勢で搬送する部分支持型ローラ93と、この部分支持型ローラ93の上流側に設けられ、かつ、水平姿勢で受け入れた基板Bを傾斜姿勢に変更して部分支持型ローラ93に導入する入口側移載装置3と、部分支持型ローラ93の下流側に設けられ、かつ、傾斜姿勢の基板Bを水平姿勢に戻す基板導出部とが備えられ、各基板導出部は、基板Bの搬送面において基板Bの搬送方向に直交する軸心を備えて並設された複数の単位ローラR1〜R5と、各単位ローラR1〜R5を個別に水平姿勢と傾斜姿勢との間で姿勢変更させる複数の子シリンダC1〜C5と、各単位ローラR1〜R5を一括して水平姿勢と傾斜姿勢との間で姿勢変更させる親シリンダC0とを備えている。

請求項（抜粋）：

搬送方向に直交する面内における水平方向に対する角度が異なる、上流側の基板の搬送路と下流側の基板の搬送路との間に介設され、基板の上流側の姿勢を、基板の下流側の姿勢に変更する基板姿勢変更装置であって、基板の搬送方向に直交する方向に延びる軸を備え、かつ、搬送方向に沿って並設された複数の単位移送手段と、上記複数の単位移送手段を基板の上流側の姿勢に対応した第1の姿勢から基板の下流側の姿勢に対応した第2の姿勢に姿勢変更させる姿勢変更手段と、上記単位移送手段を各々第2の姿勢から第1の姿勢に戻す姿勢復帰手段とを備えていることを特徴とする基板姿勢変更装置。

IPC (3件)：

B65G 13/11 , B65G 39/12 , B65G 47/24

FI (3件)：

B65G 13/11 , B65G 39/12 , B65G 47/24 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

基板洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-095820 出願人：カシオ計算機株式会社
特開平1-292892

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