特許
J-GLOBAL ID:200903080099913435

プローブカード

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大槻 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-336734
公開番号(公開出願番号):特開2007-139687
出願日: 2005年11月22日
公開日(公表日): 2007年06月07日
要約:
【課題】 コンタクトプローブに接続された第1基板と、この第1基板に対向して配置された第2基板とを備え、第1基板と第2基板との電気的な接続をより確実に行うことができるプローブカードを提供することを目的とする。【解決手段】 第1基板4と第2基板5との間に環状の導電部材6を配置し、導電部材6の頂部と底部とをそれぞれコンタクト基板4の上側電極42とメイン基板5の下側電極52とに接触させることにより、第1基板4と第2基板5との電気的な接続を行う。導電部材6の中空部分には弾性体61を充填する。導電部材6が環状に形成されているので、細長い形状に形成された接続子の端部を電極に当接させるような構成と比較して、熱変形による電極42,52との当接部のずれを小さくすることができる。したがって、第1基板4と第2基板5との電気的な接続をより確実に行うことができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
コンタクトプローブに接続された第1電極を有する第1基板と、 この第1基板に対向して配置され、上記第1電極に対向して配置された第2電極を有する第2基板と、 上記第1電極と上記第2電極との間に配置され、頂部と底部とがそれぞれ上記第1電極と上記第2電極とに接触する環状の導電部材であり、上記環状の導電部材の中空部分に弾性体が充填された接続部とを備えたことを特徴とするプローブカード。
IPC (2件):
G01R 1/073 ,  G01R 1/067
FI (2件):
G01R1/073 E ,  G01R1/067 C
Fターム (7件):
2G011AA02 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF04
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • インターポーザ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-285236   出願人:日本電子材料株式会社

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