特許
J-GLOBAL ID：200903080152875605
検査修復システム及び検査修復方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
板谷 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-364172
公開番号（公開出願番号）：特開2004-152760
出願日： 2003年10月24日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】効率よく有機発光装置を検査し、修復することができる検査修復システム及び検査修復方法を提供する。【解決手段】検査修復システム1は、光学顕微鏡11、映像取出し装置12、光子検知器13、データ処理コントローラ14、及び高エネルギービーム発生装置15を備える。検査修復システム1により欠陥位置を検知する場合、有機発光装置3の検査待ち区域に負バイアスをかけ、光子検知器13により拡大映像における微光現象が発生する欠陥位置を検知し、高エネルギービーム発生装置15により欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
有機発光装置(device)を検査、修復する検査修復システムであって、
前記有機発光装置の検査待ち区域の映像を拡大する光学顕微鏡と、
前記光学顕微鏡に連結され、該光学顕微鏡により拡大された映像を取出す映像取出し装置と、
前記光学顕微鏡に連結され、該光学顕微鏡により拡大された映像において微光現象が発生する欠陥位置を検知する光子検知器と、
それぞれ前記映像取出し装置と前記光子検知器に電気的に接続され、前記映像取出し装置により取出された拡大映像と、前記光子検知器により検知された欠陥位置を保存し、且つ、保存された前記拡大映像及び前記欠陥位置などのデータに基づいて第1コントロール信号を生成するデータ処理コントローラと、
前記データ処理コントローラと電気的に接続され、且つ、前記光学顕微鏡に連結され、前記第1コントロール信号に基づいて前記欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成し、該高エネルギービームを前記光学顕微鏡を介して照射する高エネルギービーム発生装置と、を備えることを特徴とする検査修復システム。
IPC (6件)：
H05B33/12
, G01M11/00
, G01N21/95
, G09F9/00
, H05B33/10
, H05B33/14
H05B33/12 Z
, G01M11/00 T
, G01N21/95 Z
, G09F9/00 352
, H05B33/10
, H05B33/14 A
2G051AA73
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051GC20
, 2G086EE03
, 2G086EE12
, 3K007AB08
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA00
, 5G435AA19
, 5G435BB05
, 5G435DD10
, 5G435KK10
