真空吸着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林孝吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-281397
公開番号（公開出願番号）：特開平9-123079
出願日： 1995年10月30日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】種々の平面形状の工作物や空気透過性多孔質工作物等を吸着可能な真空吸着装置を提供する。【解決手段】集合チャンバ3の底面にフロート室6を設け、フロート室6の周囲にパッド10を装着してフロート室6の下部に吸気チャンバ11を形成する。フロート室6に収容した空気フロート22の中央部に上下へ貫通する通気口23を設ける。吸気チャンバ11が開放状態の場合は、空気フロート22は上昇して上部通気口7を閉鎖する。空気透過性工作物24を吸着する場合は、空気フロート22が外部からの空気流入量に応じた中間位置に浮上し、吸気チャンバ11の負圧が維持されて工作物24が吸着される。

請求項（抜粋）：

上下両面に通気口(7,8)を設けたフロート室(6)に空気フロート(22)を収容し、前記フロート室の下部に吸気チャンバ(11)を形成してその下端を開放し、前記フロート室の上部通気口(7)を真空ポンプに接続して前記吸気チャンバ(11)の下端開口にて工作物を吸着するように構成した真空吸着装置であって、前記フロート室(6)の上下の気圧差に応じて前記空気フロート(22)が昇降して前記上部通気口(7)を開閉する真空吸着装置において、前記空気フロート(22)にフロート室(6)の前記上下の通気口(7,8)よりも小面積の通気口(23)を上下に貫通させたことを特徴とする真空吸着装置。

IPC (3件)：

B25J 15/06 , B23Q 3/08 , B65G 59/04

FI (3件)：

B25J 15/06 E , B23Q 3/08 A , B65G 59/04

引用特許：

審査官引用 (1件)

真空吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-268107 出願人：小長井春雄

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