特許
J-GLOBAL ID:200903080173619374
液状組成物、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法、有機エレクトロルミネッセンス装置及びその製造方法、デバイス及びその製造方法、電子機器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-292321
公開番号(公開出願番号):特開2004-193101
出願日: 2003年08月12日
公開日(公表日): 2004年07月08日
要約:
【課題】 経時的な物性変化の発生を抑えることができる組成物、及びこの液状体組成物を用いて生産性良く膜パターンを形成できる成膜装置を提供する。【解決手段】 成膜装置は、有機機能材料と溶媒と金属不活性剤とを含む液状体組成物を生成する組成物調整装置Sと、組成物調整装置Sで生成した液状体組成物からなる液滴を基板Pに吐出する液滴吐出装置IJとを備えている。液状体組成物は、金属不活性剤を含んでなるため有機機能材料の経時的な物性変化や劣化等が抑制されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
溶質と溶媒と金属不活性剤とを含有することを特徴とする液状組成物。
IPC (6件):
H05B33/10
, B05C5/00
, B05D1/36
, B05D5/06
, C09K11/06
, H05B33/14
FI (6件):
H05B33/10
, B05C5/00 101
, B05D1/36 Z
, B05D5/06 B
, C09K11/06 690
, H05B33/14 A
Fターム (28件):
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075AE03
, 4D075CB08
, 4D075DA04
, 4D075DA06
, 4D075DB01
, 4D075DB13
, 4D075DB18
, 4D075DB31
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EB14
, 4D075EC07
, 4D075EC30
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB02
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA42
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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