特許
J-GLOBAL ID：200903080184271515
流体温度調節装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇都宮 正明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-064403
公開番号（公開出願番号）：特開2003-338489
出願日： 2003年03月11日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：
【要約】【課題】 伝熱室から薬液を抜くときに薬液が残留しにくく、流体を効率良く加熱又は冷却することが可能な流体温度調節装置を提供する。【解決手段】 伝熱室に流体を通過させることにより、該流体の温度を調節する流体温度調節装置であって、凹部5を有する伝熱ブロック1と、該凹部5を覆うことにより、伝熱室10を形成する伝熱板2と、該伝熱板2を介して、上記伝熱室10を通過する流体との間で熱交換を行う温度調節部50とを備え、上記伝熱ブロック1には、上記伝熱室10に流体を流入させる流入口13a〜13eと、上記伝熱室10から流体を流出される流出口14a〜14cが形成されており、該流入口13a〜13e及び該流出口14a〜14cは、上記凹部5の互いに対向する端部5d、5cにそれぞれ形成されている。
請求項（抜粋）：
伝熱室に流体を通過させることにより、該流体の温度を調節する流体温度調節装置であって、凹部(5)を有するブロック材(1)と、前記凹部(5)を覆うことにより、伝熱室(10)を形成する伝熱板(2)と、前記伝熱板(2)を介して、前記伝熱室(10)を通過する流体との間で熱交換を行う温度調節手段(50)と、を備え、前記ブロック材(1)には、前記伝熱室(10)に流体を流入させる流入口(13a〜13e、19a〜19c)と、前記伝熱室から流体を流出される流出口(14a〜14c、20a、20b)とが形成されており、前記流入口(13a〜13e、19a〜19c)及び前記流出口(14a〜14c、20a、20b)は、前記凹部(5)の互いに対向する端部にそれぞれ形成され、前記流入口(13a〜13e、19a〜19c)及び前記流出口(14a〜14c、20a、20b)の少なくとも一方が複数であることを特徴とする流体温度調節装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F25B 21/02 R
, H01L 21/306 J
