ウェーハ保持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-127103
公開番号（公開出願番号）：特開2003-324141
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：

【要約】【課題】ウェーハを回転可能に保持するウェーハ保持装置上でウェーハのセンタリングができる様にし、ウェーハのセンタリングを確実迅速に且つ高精度に行える様にする。【解決手段】ウェーハチャックと、該ウェーハチャックと同心にウェーハを載置可能なウェーハ受け孔5を具備するウェーハ受載板4と、該ウェーハ受載板に設けられ、前記ウェーハ受け孔に沿って等間隔に設けられ、ウェーハを中心方向に押圧する少なくとも3組のセンタリングユニットと、該センタリングユニットを同期して駆動しセンタリングを行うセンタリング駆動機構とを具備し、前記センタリングユニットは前記ウェーハ受け孔の半径方向に進退しウェーハ周縁に当接可能なピストン18を有し、前記センタリング駆動機構は前記ピストンを進退させ、前記ウェーハチャックとウェーハ受載板とは相対的に昇降可能である。

請求項（抜粋）：

ウェーハチャックと、該ウェーハチャックと同心にウェーハを載置可能なウェーハ受け孔を具備するウェーハ受載板と、該ウェーハ受載板に設けられ、前記ウェーハ受け孔に沿って等間隔に設けられ、ウェーハを中心方向に押圧する少なくとも3組のセンタリングユニットと、該センタリングユニットを同期して駆動しセンタリングを行うセンタリング駆動機構とを具備し、前記センタリングユニットは前記ウェーハ受け孔の半径方向に進退しウェーハ周縁に当接可能なピストンを有し、前記センタリング駆動機構は前記ピストンを進退させ、前記ウェーハチャックとウェーハ受載板とは相対的に昇降可能であることを特徴とするウェーハ保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B05C 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 G , H01L 21/68 P , B05C 13/00

Fターム (19件)：

4F042AA02 , 4F042AA07 , 4F042DF01 , 4F042DF07 , 4F042DF24 , 4F042DF29 , 4F042DF34 , 5F031CA02 , 5F031HA13 , 5F031HA24 , 5F031HA27 , 5F031HA29 , 5F031HA58 , 5F031KA11 , 5F031LA07 , 5F031LA16 , 5F031MA26 , 5F031MA33 , 5F031PA09

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-144538
特開平4-014237
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-038254 出願人：株式会社東芝

全件表示

前のページに戻る