特許
J-GLOBAL ID：200903080246506301
圧電薄膜ウェハーおよびその製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284654
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148957
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 表面弾性波素子用の圧電薄膜ウェハーを提供する。【構成】 鏡面を有するダイヤモンド膜B上に、圧電薄膜Dを形成した直径2インチ以上の大きさを持つ、音波の伝搬損失の低い、高い性能の表面弾性波素子用の圧電薄膜ウェハーを提供する。
請求項（抜粋）：
基板上に形成されたダイヤモンド膜、およびその上に形成された圧電薄膜とからなる積層構造体であって、ダイヤモンド膜の表面粗度がRmax500Å以下、Ra200Å以下であり、基板の上に形成されたダイヤモンド膜が2インチ以上の直径を有する円板またはそれと同等の面積を有する矩形状のものであることを特徴とする圧電薄膜ウェハー。
IPC (2件)：
引用特許：
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