特許
J-GLOBAL ID：200903080249443130

板状基板を分離して引き離すための方法および装置

発明者：
ゲンティシャー、ヨーゼフ

ゲンティシャー、ヨーゼフ について


出願人/特許権者：
エーシーアール オートメーション イン クリーンルーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

エーシーアール オートメーション イン クリーンルーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (1件)： 中島 淳 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-531562
公開番号（公開出願番号）：特表2003-512196
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2003年04月02日
要約：
【要約】本発明は、薄く脆い板状基板(11)を分離して引き離す方法に関する。板状基板(11)は、好ましくは接着剤によって台部(12)上に装着される基板ブロック(13)から切り出されるとともに、その自由外面(16)上の均等に分布された複数の点で把持される。また、板状基板は、切断された基板ブロックおよび接着層から損傷することなく自動的且つ個々に移動されるように、振動状態で変位される。
請求項（抜粋）：
台部上に好ましくは接着剤によって固定して装着された基板ブロックから切り出される薄く脆い板状基板を分離して引き離すための方法において、板状基板は、切り離されるその自由外面の1以上の点で把持されるとともに、振動が引き起こされることを特徴とする方法。
Fターム (6件)：
3C069AA01 ,  3C069BA07 ,  3C069BB04 ,  3C069CA05 ,  3C069CB01 ,  3C069EA05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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