特許
J-GLOBAL ID：200903080260946551
表面検査装置および表面検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 洋一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-098837
公開番号（公開出願番号）：特開2009-250777
出願日： 2008年04月07日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】 一般に入手が容易である1台の二次元カメラと1台の照明と稼動ステージと画像処理装置という通常の表面検査装置の構成で、欠陥が凸であるか否かの判定を可能とし、短時間で検査処理が実現できる表面検査装置を提供すること。【解決手段】 検査物を載置するステージと、一の照明、光学系、平面画像を取得する一の画像取得部、からなる撮像装置と、前記ステージと前記撮像装置とを相対的に移動させる移動制御部と、画像記憶部と、欠陥検出部と、前記欠陥検出部で欠陥が検出された画像を第1の画像とし、当該第1の画像を取得した時の前記ステージと前記撮像装置との位置関係と異なる位置関係で当該第1の画像と同一の欠陥が含まれる第2の画像を取得し、当該第1の画像と第2の画像の位置合せを行う画像位置合せ部と、位置合せがされた第1の画像と第2の画像を比較し、欠陥が凸状態であるか否かを判定する凸判定部とを有する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
検査物を載置するステージと、
前記検査物の検査対象領域に光を照射する一の照明、前記検査対象領域を拡大する光学系、前記光学系で拡大された前記検査対象領域の平面画像を取得する一の画像取得部、からなる撮像装置と、
前記撮像装置により取得する平面画像が検査対象領域となるように前記ステージと前記撮像装置とを相対的に移動させる移動制御部と、
前記撮像装置から送られた画像を記憶する画像記憶部と、
前記画像記憶部より画像を読み出して欠陥を検出する欠陥検出部と、
前記欠陥検出部で欠陥が検出された画像を第1の画像とし、当該第1の画像を取得した時の前記ステージと前記撮像装置との位置関係と異なる位置関係で当該第1の画像と同一の欠陥が含まれる第2の画像を取得し、当該第1の画像と第2の画像の位置合せを行う画像位置合せ部と、
前記画像位置合せ部により位置合せがされた第1の画像と第2の画像を比較し、欠陥が凸状態であるか否かを判定する凸判定部と、
を有することを特徴とする表面検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2G051AA51
, 2G051AA61
, 2G051AA65
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051AC01
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CD07
, 2G051DA05
, 2G051DA17
, 2G051EA08
, 2G051EB01
, 2G051EB05
, 2G051EC01
, 2G051ED12
