特許

J-GLOBAL ID：200903080274554800

レーザー装置

発明者： 松本 裕治
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-094956
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283827
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 装置自体には特殊な細工をせずに、レーザー装置の出力エネルギーおよびパルス幅を連続的に制御可能にする。【解決手段】 安定型レーザー共振器として反射鏡11、部分反射鏡12をレーザー媒質2の両側に配置する。反射鏡11、部分反射鏡12の両方または一方をレーザー光軸に沿って移動してレーザー媒質2からの距離を調整する。この距離調整で、部分反射鏡12を透過するレーザー光の出力エネルギーおよびパルス幅を連続的に制御できる。

請求項（抜粋）：

反射鏡と部分反射鏡で構成される安定型共振器を配置したレーザー装置において、前記反射鏡、前記部分反射鏡の両方または一方とレーザー媒質容器間の距離を連続的に変えて該距離の調整をすることの可能な距離調整手段を有し、前記距離調整手段による前記距離の調整により出力エネルギーが連続的に変化することを特徴とするレーザー装置。

IPC (3件)：

H01S 3/105 ,  H01S 3/08 ,  H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/105 ,  H01S 3/08 Z ,  H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 相互注入同期光源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-269825   出願人：アンリツ株式会社
• エキシマーレーザー発振器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-065918   出願人：住友重機械工業株式会社