特許
J-GLOBAL ID：200903080295680880
信号処理方法及び信号処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-152712
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340527
出願日： 2001年05月22日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 薄膜の光学膜厚に対応する信号強度を算出するための信号処理方法において、高精度の信号強度算出を可能とし、これにより高精度の光学膜厚モニタリングが可能な信号処理装置を提供する。【解決手段】 照射光を被光照射体に照射し前記被光照射体からの反射光又は透過光の光量を検出して前記被光照射体の光学膜厚に対応する信号強度を算出するための信号処理方法において、信号強度Lとこれに対応する前記被照射体の光学膜厚xをマクロウド関数に基づいて求めることにより、各ランタイム毎の信号強度L ́とこれに対応する前記被照射体の光学膜厚x ́とを逐次記憶しておき、光学膜厚x ́に基づいて信号強度Lをにより算出し、上記信号強度L ́に基づいてε=Σ(L-L ́)2 を求め、このε値を最小にするc値及びm値を最良近似解として選択し、これら最良近似解を用いて光学膜厚に対応する信号強度を算出することとした。
請求項（抜粋）：
光源から被光照射体に光を照射しその反射光又は透過光を光検出手段により検出して得た信号強度を基に前記被光照射体の光学膜厚に対応する信号強度をコンピュータにより算出するための信号処理方法において、前記被照射体の光学膜厚x ́及びこれに対応する信号強度L ́を前記コンピュータの記憶手段に逐次記憶しておき、前記コンピュータの演算手段により、前記被照射体の光学膜厚xi ́に対応する信号強度Liをc及びmを変数として含むマクロウド関数に基づいて算出し、前記算出された信号強度Liに基づいてを求め、前記ε値を最小にするc値及びm値を最良近似解として選択し、前記最良近似解を用いてにより光学膜厚x ́に対応する信号強度Lを算出すること、を特徴とする信号処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (21件)：
2F065AA30
, 2F065BB23
, 2F065CC21
, 2F065CC31
, 2F065FF51
, 2F065GG02
, 2F065GG24
, 2F065JJ17
, 2F065LL02
, 2F065LL04
, 2F065LL42
, 2F065LL68
, 2F065PP02
, 2F065QQ03
, 2F065QQ17
, 2F065QQ23
, 2F065QQ29
, 2F065TT06
, 2H048GA57
, 2H048GA60
, 2H048GA62
