特許
J-GLOBAL ID：200903080299856371

アレイ化方法

発明者：
吉澤 恵資

吉澤 恵資 について


出願人/特許権者：
新光電気工業株式会社

新光電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-030006
公開番号（公開出願番号）：特開2002-229178
出願日： 2001年02月06日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】 LSIのマスクパターンの変換処理におけるデータサイズの圧縮効率の良いアレイ化方法の実現。【解決手段】 アレイ化方法は、LSIのマスクパターンとして並ぶパターンにおいて、繰返しの基準となるマスタパターンに合同なパターンを、所定の繰返しピッチで繰返し配置したときの繰返し数が最大となるようにグループ化し、アレイ構造データを生成する。
請求項（抜粋）：
LSIのマスクパターンとして並ぶパターンにおいて、繰返しの基準となるマスタパターンに合同なパターンを、所定の繰返しピッチで配置したときの繰返し数が最大となるようにグループ化し、アレイ構造データを生成することを特徴とするアレイ化方法。
IPC (2件)：
G03F 1/08 ,  G06F 17/50 658
FI (2件)：
G03F 1/08 A ,  G06F 17/50 658 P
Fターム (3件)：
2H095BB01 ,  5B046AA08 ,  5B046BA05
引用特許：
審査官引用 (3件)

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