特許
J-GLOBAL ID：200903080323815150
集光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-292383
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121945
出願日： 1998年10月14日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 光束集光時に収差による波面の乱れや強度を測定し、そのデータに基づいて発生した収差を相殺することにより、迅速且つ高精度に最良の集光状態を得ることができる集光装置を提供する。【解決手段】 集光装置は、光束1を光学系の焦点位置(標本5の位置)に集光させる集光光学系4と、集光光学系4による集光状態を検出する検出装置10,11,12,13と、検出装置からの出力データに基づき集光光学系による集光状態を最良の状態にする波面変換素子3とを備えている。
請求項（抜粋）：
光束を光学系の焦点位置に集光させる集光光学系と、該集光光学系による集光状態を検出する検出装置と、該検出装置からの出力データに基づき前記集光状態を最良の状態にする波面変換素子とを備えた集光装置。
IPC (2件)：
G02B 19/00
, G02F 1/13 505
G02B 19/00
, G02F 1/13 505
2H052AC18
, 2H088EA42
, 2H088EA47
, 2H088EA48
, 2H088HA13
, 2H088HA20
, 2H088HA21
, 2H088HA24
, 2H088HA28
, 2H088MA20
