特許
J-GLOBAL ID：200903080328163500
微細構造パターンを有するスタンパーの製作方法
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 征四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-053404
公開番号（公開出願番号）：特開2005-238719
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】従来の技術による諸問題を解決するため、電鋳法で成長壁を利用してスタンパーを製作する方法を提供する。【解決手段】この発明による微細構造パターンを有するスタンパーを製作する方法は、基板を提供し、基板に微細構造パターンを反転したパターンを有する第一パターン膜を形成し、基板にスタンパーの寸法を定める第二パターン膜を形成し、電鋳工程を行って第二パターン膜を成長壁として基板に少なくとも1枚のスタンパーを形成するなどのステップを含む。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
微細構造パターンを有するスタンパーを製作する方法において、
基板を提供し、
基板に微細構造パターンを反転したパターンを有する第一パターン膜を形成し、
基板にスタンパーの寸法を定める第二パターン膜を形成し、
電鋳工程を行い、第二パターン膜を成長壁として基板に少なくとも1枚のスタンパーを形成するステップを含むことを特徴とするスタンパーの製作方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
4F202AG05
, 4F202AG19
, 4F202AH79
, 4F202AJ02
, 4F202AJ09
, 4F202CA11
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CD04
, 4F202CD12
, 4F202CK43
