特許

J-GLOBAL ID：200903080385778650

音速ノズルを用いた流量制御弁

発明者： 小宮 勇 ,  南部 正博
出願人/特許権者： 日本アエラ株式会社
代理人 (1件)： 木下 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-091330
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268942
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 供給気体の急激な圧力・流量の変化に対する応答性に優れた流量制御弁を提供すること。【解決手段】 流量制御弁10は、流体通路22が設けられたベース14と、ベース14に固定された電磁弁12とを有する。流体通路22は、音速ノズル40によって、上流側通路24と下流側通路26とに分けられている。上流側通路24には圧力センサー36が設けられており、ここで検知された圧力が電気信号に変換され、制御回路16を介して、応答性よく電磁弁12の作動にフィードバックされる。

請求項（抜粋）：

流体通路が設けられたベースと前記ベースに固定された弁部材とを有する流量制御弁において、前記弁部材の出口側に音速ノズルを設け、該音速ノズルの上流側の気体圧力を圧力センサーによって検知し、前記弁部材にフィードバックさせることを特徴とする、流量制御弁。

IPC (5件)：

G05D 7/01 ,  F16K 31/02 ,  F16K 31/06 320 ,  F16K 31/06 340 ,  H01L 41/08

FI (5件)：

G05D 7/01 A ,  F16K 31/02 A ,  F16K 31/06 320 Z ,  F16K 31/06 340 ,  H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 圧力式流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-144722   出願人：株式会社フジキン