X線用光学素子およびX線用集光素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106164
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294898
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】試料の微小部分にX線を集光させて、X線分析の分析精度を向上させる。【構成】集光素子4は、全反射ミラー1の表面1aを互いに離間させて対向させることにより構成されている。これにより、この集光素子4は、X線B1を入射口4aから出射口4bへ通過させるとともに、X線B1を全反射ミラー1の表面1aで全反射させてX線B1,B2を集光させる。かかる集光素子4において、本発明は全反射ミラー1の表面1aにおける出射口4bの近傍に、炭素などの軽元素からなる被膜1dを形成して、出射口4bの開口幅を小さく設定し得るようにした。

請求項（抜粋）：