特許
J-GLOBAL ID:200903080397337064

フローセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柏木 明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-250541
公開番号(公開出願番号):特開平11-094617
出願日: 1997年09月16日
公開日(公表日): 1999年04月09日
要約:
【要約】【課題】 測温抵抗体の抵抗値のバラツキに影響されにくいフローセンサを提供する。【解決手段】 フローセンサ1は、流路に配置される発熱体2、前記流路中で発熱体2の上流側に配置される第1の測温体3、下流側に配置される第2の測温体4を備えている。発熱装置5は、発熱体2に定電流I2を供給して発熱させる電流源6を備えている。また、発熱体2の両端子側のd点、e点には測温回路(差動増幅器)7の非反転入力端子、反転入力端子が接続され、発熱体2の端子間電圧を検出して発熱体2の温度を検出する。第1の測温体3と第2の測温体4とは直列に接続され、定電流源9により一定電流I1を供給する。差電圧検出装置10は、第1の測温体3の端子間電圧を検出する比較器11と、第2の測温体4の端子間電圧を検出する比較器12と、比較器11と12の出力電圧を比較する比較器13とを備えている。
請求項(抜粋):
流体の流路に配置されて発熱する発熱体と、この発熱体より前記流路の上流側に配置される第1の測温抵抗体と、前記発熱体より前記流路の下流側に配置され前記第1の測温抵抗体と直列に接続されている第2の測温抵抗体と、直列に接続された前記第1および第2の測温抵抗体に一定電流を供給する電流源と、前記第1の測温抵抗体の端子間電圧と前記第2の測温抵抗体の端子間電圧との差分を検出する差電圧検出装置とを備えていることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件):
G01F 1/68 ,  G01P 5/12
FI (2件):
G01F 1/68 ,  G01P 5/12 M
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 特開昭59-081516
  • 電流差型熱質量流量トランスデューサ
    公報種別:公表公報   出願番号:特願平8-503139   出願人:エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
  • 特開平1-150817
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