液体中の微粒子の計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-205952
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054034
出願日： 1995年08月11日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】レーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフローセル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置であって、微粒子の粒径についての高い分解能の下において、微粒子の濃度を高い精度で測定し得る液体中の微粒子の計測方法を提供する。【解決手段】レーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフローセル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置であって、レーザー光発信装置としてマルチモードレーザー光発信装置を用いる液体中の微粒子の計測装置。

請求項（抜粋）：

レーザー光発信装置から発信されるレーザー光をフローセル中の液体に収束させて照射し、液体の流れ方向及びレーザー光の照射方向に対して直角方向の散乱光を検出する液体中の微粒子の計測装置であって、レーザー光発信装置としてマルチモードレーザー光発信装置を用いる液体中の微粒子の計測装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-234339
特開昭59-104533
特開平1-301146

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