特許
J-GLOBAL ID:200903080427193968

三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、三次元形状計測プログラム、および記録媒体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 増井 義久 ,  比村 潤相
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-196192
公開番号(公開出願番号):特開2009-031150
出願日: 2007年07月27日
公開日(公表日): 2009年02月12日
要約:
【課題】迅速かつ高精度に三次元形状情報を計測できる三次形状元計測装置を実現する。【解決手段】位置に応じて周期的に輝度が変化する光パタンを、計測対象12が計測される搬送ステージ52上の一部の領域へ投影する投光部20と、光パタン照射領域14を撮像する第1のラインセンサ36と、光パタン非照射領域16を撮像する第2のラインセンサ38と、第1のラインセンサ36が撮像した画像82および第2のラインセンサ38が撮像した画像84から、背景情報を除去した画像86に含まれるある画素における光パタンの位相を、画像86における画素とその周辺の画素との輝度値に基づいて算出し、算出した位相に基づいて計測対象12の高さ情報を算出する画像解析・駆動制御部40とを備え、第1のラインセンサ36および第2のラインセンサ38は、それぞれ、光パタン照射領域14および光パタン非照射領域16を、同時に撮像できるように配置されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
計測対象に投影された光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測装置であって、 位置に応じて周期的に輝度が変化する光パタンを、上記計測対象が設置される計測面の一部の領域へ投影する光パタン投影手段と、 上記計測対象の光パタンが投影された光パタン照射領域を撮像する第1のラインセンサと、 上記計測対象の光パタンが投影されていない光パタン非照射領域を撮像する第2のラインセンサと、 上記第1および第2のラインセンサが撮像した画像から、背景情報を除去した画像に含まれる或る画素における光パタンの位相を、上記画像における上記画素とその周辺の画素との輝度値に基づいて算出し、算出した位相に基づいて上記計測対象の高さ情報を算出する処理手段とを備え、 上記第1および第2のラインセンサは、それぞれ、上記光パタン照射領域および光パタン非照射領域を同時に撮像できるように配置されていることを特徴とする三次元形状計測装置。
IPC (3件):
G01B 11/255 ,  G06T 1/00 ,  G01B 11/245
FI (3件):
G01B11/255 H ,  G06T1/00 315 ,  G01B11/245 H
Fターム (34件):
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL41 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ26 ,  5B057AA03 ,  5B057BA15 ,  5B057DA06 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02 ,  5B057DC09 ,  5B057DC25
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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