特許
J-GLOBAL ID:200903080432989584
サーモパイル
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-345060
公開番号(公開出願番号):特開2006-153675
出願日: 2004年11月30日
公開日(公表日): 2006年06月15日
要約:
【課題】従来の平凸レンズ平面をチップ側に位置させ、センサー部が投影された地域を赤外線検出域とするサーモパイルには、各センサー部投影面積が大きく異なり、微小計測が困難という欠点を有していた。 さらに、レンズ周囲部に配置したセンサー部では、検出域からの赤外線の一部がセンサー部に入射されず出力低という欠点もあった。また、アセンブリ時ワイヤーボンディングの精度要求高とであり、作製困難であった。さらに、レンズ軸の角度ズレが発生しやすく、作製容易ではなかった。【解決手段】平凸レンズ球面をチップ側に位置させる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
二種の物質で構成された熱電対でダイヤフラム上に温接点を形成し、周囲ヒートシンク部上に冷接点を形成し、温接点上に吸収膜を設置し複数のセンサー部とするチップを形成し、さらにセンサー部を平凸レンズで投影し検出域とするサーモパイルにおいて、平凸レンズ球面をチップ側に位置させたことを特徴とするサーモパイル。
IPC (1件):
FI (3件):
G01J1/02 C
, G01J1/02 H
, G01J1/02 Q
Fターム (7件):
2G065AB02
, 2G065BA11
, 2G065BA14
, 2G065BA34
, 2G065BB06
, 2G065CA04
, 2G065CA30
引用特許:
出願人引用 (1件)
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赤外線検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-225737
出願人:株式会社村田製作所
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