特許
J-GLOBAL ID：200903080469801640
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102304
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291322
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 振動板を形成したSi基板を、絶縁膜形成のため熱酸化した後ヘッドに組み立てて圧力室内にインクを注入すると、熱酸化処理によって振動板に微小なピンホールが発生し、振動板を透過してインクが静電駆動に必要な振動板と対向電極のギャップに侵入し駆動が不可能になるという課題があった。【解決手段】 振動板形成後の熱酸化膜形成工程で、酸化温度を摂氏1080度以下として、振動板に発生するピンホールを無くし振動板不良率を0%とする。また、熱酸化処理によりSi基板表面に酸化膜を形成した後、吐出室側の酸化膜の表面に、スパッタ・CVD等の成膜手段によって耐インク性を有する酸化物、窒化物、金属等の薄膜を形成する。
請求項（抜粋）：
インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連結する吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備え、該駆動手段が該振動板を静電気力に変形させる電極からなり、該振動板が形成される基板がSi基板であるインクジェットヘッドにおいて、前記振動板が形成されたSi基板の熱酸化工程での酸化温度が、摂氏1080度以下であることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
