感放射線性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-027408
公開番号（公開出願番号）：特開2002-229192
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】特にArFエキシマレーザー(波長193nm)に代表される遠紫外線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状等に優れるポジ型およびネガ型の感放射線性樹脂組成物をもたらしうる新規な感放射線性酸発生剤、並びに該感放射線性酸発生剤を含有するポジ型およびネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性酸発生剤は、スルホニウムカチオンが下記式(1)、式(2)または式(3)で表され、カウンターアニオンがC4 F9 SO3 - である化合物等に代表される。ポジ型感放射線性樹脂組成物は、該感放射線性酸発生剤および酸解離性基含有樹脂を含有し、ポジ型感放射線性樹脂組成物は、該感放射線性酸発生剤、アルカリ可溶性樹脂および架橋剤を含有する。【化1】

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される化合物からなる感放射線性酸発生剤。【化1】〔一般式(1)において、R1 は水酸基、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状の1価の炭化水素基、-ORa 基または-COORa 基(但し、Ra は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。)を示し、pは0〜7の整数であり、各R2 は相互に独立に炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状の1価の炭化水素基を示し、各R3 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状の1価の炭化水素基を示し、X- はスルホン酸アニオンを示す。〕

IPC (7件)：

G03F 7/004 503 , C08K 5/45 , C08L101/00 , G03F 7/038 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027 , C07D333/16

FI (7件)：

G03F 7/004 503 A , C08K 5/45 , C08L101/00 , G03F 7/038 501 , G03F 7/039 601 , C07D333/16 , H01L 21/30 502 R

Fターム (21件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA11 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB41 , 2H025CC17 , 4C023BA07 , 4J002BG071 , 4J002BK001 , 4J002EV306 , 4J002FD200 , 4J002FD206 , 4J002GP03

引用特許：

出願人引用 (2件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-347330 出願人：ジェイエスアール株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-060381 出願人：ジェイエスアール株式会社

審査官引用 (2件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-347330 出願人：ジェイエスアール株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-060381 出願人：ジェイエスアール株式会社

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