感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-347330
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232490
出願日： 1997年12月03日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】特に高感度で、かつ解像度、パターン形状等にも優れたポジ型またはネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式で代表される化合物と(B1)酸解離性基含有樹脂とを含有するか、または前記(A)成分と(B2)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤とを含有する。ネガ型感放射線性樹脂組成物は、前記(A)成分、(C)アルカリ可溶性樹脂および(D)架橋剤を含有する。【化1】〔式中、R1 およびR2 はアルキル基、R3 は水酸基または-OR4 (但し、R4 は1価の有機基である。)を示し、aは4〜7の整数、bは1〜7の整数である。〕

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1-1)または式(1-2)【化1】〔式(1-1)において、R1 およびR2 は相互に同一でも異なってもよく、炭素数1〜4のアルキル基を示し、R3 は水酸基または-OR4 (但し、R4 は炭素数1〜6の1価の有機基を示す。)を示し、A1 - は1価アニオンを示し、aは4〜7の整数、bは0〜7の整数である。〕〔式(1-2)において、R5 およびR6 は相互に同一でも異なってもよく、炭素数1〜4のアルキル基を示し、R7 は水酸基または-OR8 (但し、R8 は炭素数1〜6の1価の有機基を示す。)を示し、A2 - は1価アニオンを示し、cは4〜7の整数、dは0〜4の整数である。〕で表される感放射線性酸発生剤、並びに(B1)酸解離性基を含有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(B2)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/038 601 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 501 , G03F 7/038 601 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (10件)

改良された加工特性を有するポジ型フォトレジスト
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-339657 出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーミクロエレクトロニクスインコーポレーテッド
特にフォトレジストのためのマレイミドコポリマー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-335601 出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーマイクロエレクトロニックマテリアルズアクチエンゲゼルシヤフト
200nm未満の波長をもつ紫外放射線のための湿式化学現像可能な、エッチ安定なフォトレジスト
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-059053 出願人：オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド

全件表示

前のページに戻る