特許
J-GLOBAL ID:200903080493764399
半透明成形体の表面検査方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
羽鳥 修 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-389429
公開番号(公開出願番号):特開2002-189001
出願日: 2000年12月21日
公開日(公表日): 2002年07月05日
要約:
【要約】【課題】 半透明成形体の被検査面のみを効率よく正確に検査することができる半透明成形体の表面検査装置を提供すること。【解決手段】 表面検査装置1は、面状の光源2と、光源2から受光方向R成分を含む方向に被検査面を透過した透過光L1、及び受光方向R1と逆方向の成分を含む方向に透過して被検査面で受光方向を含む方向に反射した反射光L2を受光する受光手段3と、受光手段3で受光した透過光L1及び反射光L2に基づいて半透明成形体Mの表面形状を解析しその良否を判定する処理手段4とを備えている。
請求項(抜粋):
半透明成形体の表面検査方法であって、前記半透明成形体に所定位置から光を照射し、受光方向成分を含む方向に被検査面を透過した透過光、及び該受光方向と逆方向の成分を含む方向に透過して該被検査面で該受光方向を含む方向に反射した反射光に基づいて該半透明成形体の表面を検査する半透明成形体の表面検査方法。
IPC (5件):
G01N 21/958
, C11D 13/00
, G01B 11/24
, G01N 21/896
, G06T 1/00 300
FI (5件):
G01N 21/958
, C11D 13/00
, G01N 21/896
, G06T 1/00 300
, G01B 11/24 K
Fターム (46件):
2F065AA49
, 2F065BB23
, 2F065CC00
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065GG07
, 2F065GG18
, 2F065HH15
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065PP15
, 2F065QQ13
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F065QQ37
, 2F065RR08
, 2F065SS04
, 2F065TT03
, 2G051AA90
, 2G051AB06
, 2G051AB07
, 2G051AB08
, 2G051BA01
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CB03
, 2G051EA08
, 2G051EB01
, 2G051EC06
, 4H003AB03
, 4H003CA15
, 4H003DA01
, 4H003DA02
, 4H003FA48
, 5B057AA01
, 5B057BA02
, 5B057BA19
, 5B057BA30
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC04
, 5B057DC09
, 5B057DC23
, 5B057DC34
引用特許:
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