清浄空気供給システム及びその運転方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：金本哲男 , 亀谷美明 , 萩原康司 , 和田憲治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-194955
公開番号（公開出願番号）：特開2004-033925
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】ロータ内に吸着剤を設けた回転式吸着装置を用いた清浄空気供給システムにおいて,高性能フィルタを組み込んだ場合に,システム内において該高性能フィルタ自体のガス状有機不純物の脱離を行う。【解決手段】最終段の回転式吸着装置31の下流側にULPAフィルタ42設置すると共に,ULPAフィルタ42の上流側に電気ヒータ41を設置し,電気ヒータ41で加熱された空気を積極的に冷却することなく高性能フィルタ42に導入する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ロータ内に吸着剤を設けた回転式吸着装置で処理空気中の有機物又は水分を除去した後,目的室に供給する清浄空気供給システムであって,前記回転式吸着装置の下流側に高性能フィルタを設置すると共に, 前記回転式吸着装置と高性能フィルタとの間の空気の流路にヒータを設置し, 前記ヒータで加熱された空気を積極的に冷却することなく前記高性能フィルタに導入可能としたことを特徴とする,清浄空気供給システム。

IPC (3件)：

B01D53/06 , B01D53/26 , F24F3/147

FI (3件)：

B01D53/06 A , B01D53/26 101B , F24F3/147

Fターム (16件)：

3L053BC03 , 3L053BC09 , 4D012CA01 , 4D012CA10 , 4D012CC02 , 4D012CD01 , 4D012CG01 , 4D012CH01 , 4D052AA00 , 4D052CB04 , 4D052DA02 , 4D052DA06 , 4D052DB01 , 4D052HA01 , 4D052HA36 , 4D052HB02

引用特許：

審査官引用 (4件)

ガス状化学汚染物質除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-342159 出願人：株式会社東洋製作所, ティーイーティー株式会社, 日本ピュアテック株式会社
低露点空気供給システム及び乾式減湿装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-249118 出願人：高砂熱学工業株式会社
清浄空気製造方法及び供給システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-216649 出願人：高砂熱学工業株式会社

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