基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-091799
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289506
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】オペレータを効率的に配置し、且つエラーが生じた場合には迅速に復旧可能であり、しかも既存の設備を利用して低コストで安全に製造工場外で保守のための統計処理を行うことができる基板処理装置を提供する。【解決手段】ホストコンピュータ14は、露光装置11の運転状況に関する保守情報を生成する。メールサーバ15はこの保守情報を含む電子メールを生成してネットワークN1を介して保守コンピュータ22や携帯端末T1,T2に送信する。保守コンピュータ22は、送られてきた保守情報に基づいて保守のための統計処理を行う。また、保守コンピュータ22や携帯端末T1,T2から露光装置11に対する指示に関する指示情報が電子メールの形式で送られてきた場合には、ホストコンピュータ14は、この指示情報に基づいた制御信号を露光装置11に対して送出する。電子メールは暗号化されて送受信される。

請求項（抜粋）：

基板を処理する処理装置本体と、前記処理装置本体の運転状況に関する保守情報を生成する生成装置と、前記保守情報を含む電子メールを生成して前記処理装置本体にネットワークを介して接続される保守装置に送信する送信装置と、前記処理装置本体にて実行されるべき指示に関する指示情報が設定された前記保守装置から送られる電子メールを受信する受信装置と、受信した電子メールに設定された指示情報に従った処理を実行する制御装置と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 7/30 501 , H01L 21/02

FI (5件)：

G03F 7/20 521 , G03F 7/30 501 , H01L 21/02 Z , H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 562

Fターム (6件)：

2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096CA20 , 2H096GA21 , 5F046AA28 , 5F046DD06

引用特許：

審査官引用 (4件)

露光装置及び露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-111806 出願人：株式会社ニコン
産業用機器の遠隔保守システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-167233 出願人：キヤノン株式会社
電話交換システムおよび電話主装置保守システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-225141 出願人：株式会社東芝

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