特許
J-GLOBAL ID:200903080535585015
固体撮像装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新居 広守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-091605
公開番号(公開出願番号):特開2009-157390
出願日: 2009年04月03日
公開日(公表日): 2009年07月16日
要約:
【課題】焦点距離が短い光学系(入射角θが大きい光学系)にも対応し、かつ高感度な固体撮像装置を実現する。【解決手段】各画素(サイズ□2.8mm)は、分布屈折率レンズ1、G用のカラーフィルタ2、Al配線3、電気信号伝送部4、平坦化層5、受光素子(Siフォトダイオード)6、Si基板7から構成されている。分布屈折率レンズの同心円構造は、屈折率の異なる4種類の材料、TiO2(n=2.53)、SiN(n=2.53)、SiO2(n=2.53)、空気(n=1.0)で構成されており、隣り合う円型光透過膜の外周の半径差は100nmである。また、膜厚は0.4μmである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
屈折率が異なる複数の光透過膜から構成される集合体を備える集光素子を有する単位画素が平面的に複数配置された固体撮像装置であって、
前記集合体における一の光透過膜は、入射光の波長と同程度かそれより短い幅の同心状の形状を有し、前記集合体における他の光透過膜は、前記一の光透過膜が存在していない空間の全部又は一部を同心状に充填し、
前記固体撮像装置の中央に位置する単位画素に係る前記一の光透過膜又は前記他の光透過膜と、当該固体撮像装置の周辺に位置する単位画素に係る前記一の光透過膜と前記他の光透過膜とでは、それらを構成する光透過材料の種類又はその配列が異なっている
ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件):
FI (3件):
G02B3/00 B
, G02B3/00 A
, H01L27/14 D
Fターム (21件):
4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118EA01
, 4M118EA14
, 4M118FA06
, 4M118GC08
, 4M118GD04
, 4M118GD09
, 4M118GD10
, 4M118GD20
, 5F049MA01
, 5F049MB02
, 5F049NA20
, 5F049NB05
, 5F049RA02
, 5F049RA10
, 5F049SS03
, 5F049WA03
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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