特許

J-GLOBAL ID：200903080545623276

位置決め装置および露光装置

発明者： 山根 幸男 ,  高嶋 常雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-351792
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293773
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 基板を搭載する移動体の重量やコストを増加させることなく、位置決め時間を短縮し、装置全体のスループットを向上させる。【解決手段】 基板を保持する保持面を定盤に対してXYの各軸方向に移動可能なXYテーブルの移動時に生じるXYの各軸回りの回転情報を予め記憶し、XYテーブルの実際の移動時にXYの各軸回りの回転による基板の姿勢変動を前記回転情報に基づいて打ち消す。この打ち消し動作は、XYテーブルに搭載されて基板を保持する回転テーブルを補正駆動して行ってもよく、XYテーブルを定盤に対して浮上させている静圧軸受の供給圧力を制御して行ってもよい。

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持面を定盤に対してXYの各軸方向に移動可能なXYテーブルと、XYの各軸回りに回転可能でかつZ方向に移動可能な回転テーブルと、前記XYテーブルおよび前記回転テーブルを駆動制御する制御手段とを備えた位置決め装置において、前記XYテーブルの移動時に生じるXYの各軸回りの回転を、予め記憶しているXYの各軸回りの回転情報に基づいて、前記回転テーブルを補正駆動することで打ち消すように動作する補償手段を設けたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 1/48 ,  G01D 15/24 ,  G03F 9/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01L 21/68 K ,  G01D 15/24 B ,  G03F 9/00 H ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 515 G ,  B23Q 1/14 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-181198
  
• 特開平4-354320
  
• 位置検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-037580   出願人：株式会社ニコン