特許
J-GLOBAL ID:200903080548542870
紫外線センサおよび紫外線照度計
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-192836
公開番号(公開出願番号):特開2004-037173
出願日: 2002年07月02日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【課題】測定雰囲気に影響されることなく、エキシマランプや低圧水銀ランプ等の紫外線量を正確に測定することができる紫外線センサおよび紫外線照度計を提供することを課題とする。【解決手段】内部を不活性ガス雰囲気としてなる耐紫外線キャップ1内に、紫外線受光素子を気密配置してななる紫外線センサにおいて、紫外線受光素子は、耐紫外線基板2に、短波長紫外線に感度を有するダイヤモンド薄膜光導電型受光素子3を接着搭載して構成し、また耐紫外線キャップ1の受光窓に、短波長紫外線を透過するサファイア板4を気密配置して構成してある。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
内部を不活性ガス雰囲気としてなる耐紫外線キャップ内に、紫外線受光素子を気密配置してなる紫外線センサにおいて、
前記紫外線受光素子は、耐紫外線基板に、短波長紫外線に感度を有するダイヤモンド薄膜光導電型受光素子を接着搭載して構成し、また耐紫外線キャップの受光窓に、短波長紫外線を透過するサファイア板を気密配置して構成したことを特徴とする紫外線センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
2G065AA04
, 2G065AB05
, 2G065BA02
, 2G065BA38
, 2G065CA23
, 2G065CA25
引用特許:
引用文献:
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