特許
J-GLOBAL ID：200903075711220823
ダイヤモンド膜紫外線センサ及びセンサアレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052548
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248531
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 太陽光に影響されず、応答速度が速く、耐熱性が優れており、紫外線検出感度が高い実用的なダイヤモンド膜紫外線センサを提供する。【解決手段】 基板1と、この基板上に気相合成により一軸性に配向成長したダイヤモンド膜2と、このダイヤモンド膜上に形成された第1電極3及び第2電極4とを有する。ダイヤモンド膜2は膜厚が1乃至40μmであり、このダイヤモンド膜2が紫外線検出層となる。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板上に気相合成により一軸性に配向成長した膜厚が1乃至40μmのダイヤモンド膜からなる紫外線検出層と、この紫外線検出層に接触した少なくとも1対の第1電極及び第2電極とを有することを特徴とするダイヤモンド膜紫外線センサ。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, G01J 1/42
, H01L 31/04
, H01L 31/10
G01J 1/02 G
, G01J 1/42 A
, H01L 31/04
, H01L 31/10 A
