特許

J-GLOBAL ID：200903080586462651

位置決め装置

発明者： 中村 剛
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-123136
公開番号（公開出願番号）：特開2005-310906
出願日： 2004年04月19日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【解決課題】 本発明は、セラミックを位置決め装置の構造材として使用しても、アウトガスの発生を極力低減できるようにした位置決め装置を提供する。【解決手段】 真空雰囲気下で使用され、少なくとも2軸以上の各軸に沿ってスライダを移動させてステージの位置決めを可能にする位置決め装置である。下軸と、当該下軸に沿って移動する下軸スライダ12と、上軸と、当該上軸に沿い、かつ前記下軸スライダ上を移動する上軸スライダ14と、を備え、前記第下軸スライダはセラミックで構成されてなるとともに、かつ中抜きが形成されてなる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空雰囲気下で使用され、スライダを移動させてステージの位置決めを可能にする位置決め装置において、固定部と、当該固定部に沿って移動するスライダとを備え、 前記スライダはセラミックで構成されてなるとともに、かつ中抜きが形成されており、前記スライダの見かけ上の表面積が前記中抜きを設けない場合の前記スライダの見かけ上の表面積より小さく設定されてなる位置決め装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B23Q1/62 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (6件)：

H01L21/68 K ,  B23Q1/62 A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 503A ,  H01L21/30 531A ,  H01L21/30 541L

Fターム (20件)：

2H097BA02 ,  2H097LA10 ,  2H097LA11 ,  3C048BB01 ,  3C048BC02 ,  3C048DD06 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA57 ,  5F031KA06 ,  5F031PA26 ,  5F046CC18 ,  5F046GA11 ,  5F046GA12 ,  5F046GA14 ,  5F046GA18 ,  5F056BA10 ,  5F056CB22 ,  5F056EA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-240425   出願人：日本精工株式会社