位置決め装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲葉良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-240425
公開番号（公開出願番号）：特開2002-158274
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】スライダを高速駆動可能であり、かつ高精度で省スペース化が達成された寿命の長い位置決め装置を提供する。【解決手段】ベース11に対し第1のスライダ12を第1の駆動装置14によりX軸方向に位置決めする第1の位置決め装置10と、ベース11に対し第2のスライダ13を第2の駆動装置34によりY軸方向に位置決めする第2の位置決め装置と20を備え、第1の駆動装置14及び第2の駆動装置34をベース11に設け、第1のスライダ12及び第2のスライダ13をZ軸方向に重なって配置し、ステージ30を第1のスライダ12及び第2のスライダ13の両者に係合させた位置決め装置である。

請求項（抜粋）：

固定部と、前記固定部に対し第1のスライダを第1の駆動装置により第1の方向に位置決めする第1の位置決め装置と、前記固定部に対し第2のスライダを第2の駆動装置により前記第1の方向と交差する第2の方向に位置決めする第2の位置決め装置と、を備え、前記第1の方向及び第2の方向にステージを位置決めする位置決め装置であって、前記第1の駆動装置及び第2の駆動装置は、前記固定部に設けられ、前記第1のスライダ及び第2のスライダは、前記第1の方向及び第2の方向と直交する第3の方向に重なって配置され、前記ステージは、前記第1のスライダ及び第2のスライダの両者に係合してなる位置決め装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 1/60 , B23Q 5/28 , G12B 5/00 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 K , B23Q 5/28 B , G12B 5/00 T , H01L 21/30 503 A , B23Q 1/18 A

Fターム (27件)：

2F078CA02 , 2F078CA03 , 2F078CA08 , 2F078CB09 , 2F078CB12 , 2F078CC01 , 2F078CC03 , 2F078CC14 , 3C048BB03 , 3C048BB12 , 3C048BC02 , 3C048CC04 , 3C048DD06 , 3C048EE01 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA57 , 5F031KA06 , 5F031LA07 , 5F031LA08 , 5F031LA12 , 5F031LA13 , 5F031NA01 , 5F031PA11 , 5F031PA30 , 5F046CC03 , 5F046CC18

引用特許：

審査官引用 (6件)

X-Yテーブル
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-316005 出願人：株式会社安川電機
ステージ移動機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-011827 出願人：日本電子株式会社
特開昭63-140986

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