特許
J-GLOBAL ID：200903080643733969
液体流量制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-128397
公開番号（公開出願番号）：特開2007-299313
出願日： 2006年05月02日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】液体の流量制御を効率良く行うことができる液体流量制御装置を提供する。【解決手段】液体流量制御装置は、上部素子基板3と下部素子基板4の間の液流路20を有している。液流路20内には、下部素子基板4に片持梁状に固定され、弾性変形可能な可動部材10が配置されている。下部素子基板4には、可動部材10の下方の位置に下部発熱体2が配置され、上部素子基板3には、可動部材10の上方の位置に上部発熱体1が配置されている。可動部材10は、下部発熱体2によって発生した気泡によって自由端11が持ち上がった第1の位置に移動可能であり、上部発熱体1によって発生した気泡によって、下部素子基板4の表面に平行な第2の位置に移動可能である。可動部材10は、液流路20内の液体の流れによる可動部材10に対する流抵抗の作用によって、第1の位置に保持可能である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体が流れる液流路と、
前記液流路の壁面上の、互いに対向する2つの位置でそれぞれ液体に熱を作用させて膜沸騰させ、気泡を発生することができる第1および第2の発熱体と、
前記液流路の壁面に片持梁状に固定され、前記液流路内の、前記第1および第2の発熱体の間の位置に配置された弾性変形可能な板状の可動部を含む可動部材と、
を有し、
前記可動部は、前記第1の発熱体によって発生した気泡の作用によって第1の位置に移動させることができ、前記第2の発熱体によって発生した気泡の作用によって第2の位置に移動させることができ、前記第1の位置と前記第2の位置の少なくとも一方で、前記液流路を流れる液体の、前記可動部に対する流抵抗の作用によって保持される、
液体流量制御装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5H307BB05
, 5H307EE32
, 5H307ES05
