特許

J-GLOBAL ID：200903080672451859

表面形状測定装置

発明者： 藤原 久利 ,  大谷 幸利 ,  吉澤 徹
出願人/特許権者： 山武ハネウエル株式会社 ,  吉澤 徹
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-123843
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332956
出願日： 1994年06月06日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 モアレ縞を形成する格子からの反射を除去する。【構成】 光源3からのコヒーレントな光が格子7を介して被測定物体8に照射される。照射された光はそこで反射され格子7でモアレ縞を作る。このモアレ縞が撮像カメラ12で撮像され、その撮像された結果から被測定物体8の表面形状が測定される。このとき格子7で反射回折された光が撮像カメラ12に入射しないように、格子7の角度を適当に調整しておく。また、偏光子10を回転することにより、被測定物体8の保護カバー8bからの反射光と、基板8aからの反射回折光を区別して測定できる。

請求項（抜粋）：

被測定物体に平行光を投影する投射系と、その投射系と被測定物体の間に挿入された格子と、被測定物体の測定面から反射されて前記格子上にできるモアレ縞を受光する受光系と、前記受光系出力を撮像する撮像カメラと、前記格子位置を被測定物体の測定面に対して垂直方向に複数回移動させ、そのときに得られる撮像カメラ出力に基づいて所定の演算を行い被測定物体の測定面平坦度を求める演算部とから構成され、前記格子はそこからの反射回折光が前記撮像カメラに入射しない角度に設定することを特徴とする表面形状測定装置。