特許
J-GLOBAL ID:200903080679798129

濃度検知方法及び濃度検知装置並びに薬剤の希釈調合装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 葛和 清司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-072600
公開番号(公開出願番号):特開2001-264277
出願日: 2000年03月15日
公開日(公表日): 2001年09月26日
要約:
【要約】【課題】 厳密な温度管理を行わなくても、溶液の濃度を精度良く求めることができ、又、リアルタイムで濃度を求めることができ、かつ薬剤の希釈調合のコスト低減及び希釈調合作業の単純化に資することができる濃度検知方法及び濃度検知装置並びに薬剤の希釈調合装置を提供する。【解決手段】 溶液の導電率及び温度を測定する工程及び導電率及び温度から溶液中の目的物質の濃度を算出する工程を含む濃度検知方法であって、該濃度の算出が、下式:C=(D-aT-b)/(AT+B)・・・・・・・・・・・(1)(式中、Cは目的物質の濃度、Dは温度Tのときの溶液の導電率、Tは溶液の温度、A、B、a及びbは定数を表す。)に基づくことを特徴とする。
請求項(抜粋):
溶液の導電率及び温度を測定する工程及び導電率及び温度から溶液中の目的物質の濃度を算出する工程を含む濃度検知方法であって、該濃度の算出が、下式:C=(D-aT-b)/(AT+B)・・・・・・・・・・・(1)(式中、Cは目的物質の濃度、Dは温度Tのときの溶液の導電率、Tは溶液の温度、A、B、a及びbは定数を表す。)に基づくことを特徴とする、前記濃度検知方法。
IPC (2件):
G01N 27/06 ,  G03F 7/26 501
FI (2件):
G01N 27/06 Z ,  G03F 7/26 501
Fターム (19件):
2G060AA06 ,  2G060AC04 ,  2G060AC05 ,  2G060AE17 ,  2G060AF08 ,  2G060AG03 ,  2G060FA01 ,  2G060FB02 ,  2G060HC02 ,  2G060HC13 ,  2G060KA06 ,  2G060KA09 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096GA08 ,  2H096GA13 ,  2H096GA21 ,  2H096HA18 ,  2H096HA19
引用特許:
審査官引用 (13件)
  • 特開昭49-040992
  • 特開平4-291141
  • 現像原液の希釈装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-013026   出願人:日立プラント建設株式会社, 株式会社平間理化研究所, 長瀬産業株式会社, ナガセ電子化学株式会社
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