感放射線性樹脂組成物用現像液、現像液のリサイクル方法、現像装置及びパターン形成法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-162581
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234524
出願日： 1994年07月15日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】感放射線性組成物を現像する際に好適に用いられる低引火性、低毒性、低膨潤性でかつ、高親油性、高現像力、高解像性を有するリサイクル容易な現像液、その現像液を用いた現像装置、現像液のリサイクル方法及びその現像液を用いたパターン形成法を提供する。【構成】水と溶剤を含むエマルションである感放射線性樹脂組成物用現像液、上記現像液を油水分離する工程と各層を精製する工程と各層を再び所定の濃度となるように混ぜ合わせる工程とを含むか、あるいは現像液から発生する溶剤と水との混合蒸気を凝集させる工程と必要に応じて所定量の界面活性剤を添加する工程とを含むか、あるいは現像液を加熱あるいは冷却して均一層にし感放射線性樹脂組成物の主成分を析出させる工程と均一層から析出した感放射線性樹脂組成物の主成分を取り除く工程と均一層を再び所定の濃度となるように成分の濃度を調整する工程とを含む。

請求項（抜粋）：

水と溶剤とを含むエマルションである感放射線性樹脂組成物用現像液。

IPC (2件)：

G03F 7/32 , G03F 7/30

引用特許：

審査官引用 (30件)

特開平2-267557
特開昭63-271256
特開昭63-200154

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