特許
J-GLOBAL ID：200903080730697049
光を波長分別する装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-525476
公開番号（公開出願番号）：特表2003-510638
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2003年03月18日
要約：
【要約】本発明は特に光を波長分別する露光装置10に関し、光源1の露光光路中に、露光に必要なスペクトル成分と不必要なスペクトル成分とに光路を分別する少なくとも1つの主として波長で分別する鏡面7を配置する。簡単な手段で露光品質を最適化する露光装置および方法を提供するのが本発明の課題である。この発明の課題は発明に基き、不必要なスペクトル成分の光路に鏡16を配置し、これによって不必要なスペクトル域を鏡面の方向に反射させて、この一部を調整のために観測スクリーン19に投影することで解決される。
請求項（抜粋）：
光源(1)とコンデンサ装置(2)を有し、特に光を波長分別する露光装置において、 光源(1)の露光光路中に、第1の好ましくは露光に必要な紫外線成分(14)と、第2の主として可視光線または赤外線スペクタル成分(15)とに光路を分別する、少なくとも第1の、好ましくは波長分別の鏡面(7)が配置され、かつ第2のスペクトル成分(15)の光路中に第2の鏡(16)が配置されることを特徴とする装置。
Fターム (3件)：
2H097BB02
, 2H097CA12
, 2H097LA03
