特許
J-GLOBAL ID：200903080753536387
静電容量型加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-300650
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119944
出願日： 1995年10月24日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：
【要約】【課題】 2軸以上の加速度を同時に検出できる静電容量変化を利用した加速度センサにおいて、周囲環境温度が変動しても、検出加速度に対する出力が影響を受けない構成となし、使用温度範囲が広く厳しい自動車等の用途に最適な静電容量型加速度センサの提供。【解決手段】 可撓基板のビームによる支持構造を、従来の可撓基板中心線上に配置する構成から、これを外周部に配置する構成に変更することにより、温度変化による可撓基板の上下変位が発生し難く、可撓基板と重錘体との陽極接合箇所を従来の基板下面4ヶ所から中央1ヶ所に変更して接合面積を最適値に調整し、さらに、電極の配置をX,Y,Z軸用の全てを外周部に配置することにより、実質的に周囲環境温度の変化、すなわち、熱変形による影響を受けない静電容量型加速度センサが得られる。
請求項（抜粋）：
ビームによる支持構造を有する可撓基板と固定基板を対向配置した静電容量型加速度センサにおいて、可撓基板の外周部にビーム配置する構成からなる静電容量型加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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