特許
J-GLOBAL ID：200903080802648099
引出電極の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-171388
公開番号（公開出願番号）：特開2001-347426
出願日： 2000年06月08日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
要約：
【要約】【課題】 極微な引出電極を高精度に作製できる方法を提供すること。【解決手段】 加圧部7を制御して、第1段ポンチ5と第1段ダイス3により荷重294Nで金属箔11をプレス加工する。この結果、図3(c)に示すように、口径0.89mm、高さ0.1mm以上の半球殻状の第1段突起12が金属箔11に形成される。次に、ホルダ6を加圧部7から取り外し、代わりに第2第ポンチ8を保持したホルダを加圧部7に取り付ける。そして、加圧部7を制御して、第2段ポンチ8と第2段ダイス4により荷重21.6Nで第1段突起12の先端部分をプレス加工する。この結果、図3(e)に示すように、口径0.203mm、高さ0.07mm以上の第2段突起13が第1段突起12の先端に形成される。そして、その第2段突起13の頂部に集束イオンビームを照射して貫通穴を開ける。
請求項（抜粋）：
凸部を有するポンチとそれに適合するダイスを用いて金属箔に絞り加工を施して、金属箔に突起を形成し、その突起の頂部に貫通穴を形成して引出電極を作製するようにしたことを特徴とする引出電極の作製方法。
IPC (5件)：
B23P 13/00
, B21D 22/04
, B21D 33/00
, G01N 13/10
, H01J 49/16
B23P 13/00
, B21D 22/04
, B21D 33/00
, G01N 13/10 A
, H01J 49/16
5C038GG04
, 5C038GG13
, 5C038GH02
, 5C038GH06
, 5C038GH11
, 5C038GH13
