特許

J-GLOBAL ID：200903080805494637

転写装置、転写用カートリッジ、及び転写方法

発明者： 内藤 勝之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-293621
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100038
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 ナノインプリンティングにおいて、原盤と基板のアライメントが容易であり、原盤や基板を短時間で加熱・冷却ができ、また基板と原盤の剥離が容易である転写装置、転写用カートリッジ、及び転写方法を提供すること。【解決手段】 情報に相当するパターンを有する原盤11を保持する原盤保持手段10と、原盤11の前記パターンが転写される基板13を保持する基板保持手段12と、原盤11と基板13間を固定する固定手段と、原盤11と基板13間に圧力を印加する圧力印加手段とを備え、原盤保持手段10と基板保持手段12と固定手段とは一体となって圧力印加手段に対して脱着可能に構成されていることを特徴とする転写装置。

請求項（抜粋）：

情報に相当するパターンを有する原盤を保持する原盤保持手段と、前記原盤の前記パターンが転写される基板を保持する基板保持手段と、前記原盤と前記基板間を固定する固定手段と、前記原盤と前記基板間に圧力を印加する圧力印加手段とを備え、前記原盤保持手段と前記基板保持手段と前記固定手段とは一体となって前記圧力印加手段に対して脱着可能に構成されていることを特徴とする転写装置。

IPC (5件)：

G11B 5/86 101 ,  G11B 5/86 ,  G11B 5/84 ,  G11B 7/26 521 ,  G11B 7/26 531

FI (5件)：

G11B 5/86 101 A ,  G11B 5/86 101 B ,  G11B 5/84 Z ,  G11B 7/26 521 ,  G11B 7/26 531

Fターム (16件)：

5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA10 ,  5D112GB05 ,  5D112GB10 ,  5D112KK02 ,  5D121AA02 ,  5D121AA03 ,  5D121BA01 ,  5D121DD06 ,  5D121DD11 ,  5D121DD13 ,  5D121DD18 ,  5D121GG07 ,  5D121GG10 ,  5D121JJ03